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SSB260/20T型投射光刻機被動式空氣彈簧超出大部分其他方式的減振器
不論是工業生產亦或是我們的生活，全部活動機器都會因遭受推動力而振動。振動會輸送到機器的支撐架并且通過支撐架輸送到機器自身及其機器的配件上。振動會導致全部受此影響一個物體疲倦。與此同時，振動也使得噪音大大的提高，尤其是在恩恩怨怨路面安裝振動機械設備,如裝到樓房里的設備。而SSB260/20T型投射光刻機被動式空氣彈簧超出大部分其他方式的減振器，能降低99百分比的振動疲倦。
被動式空氣彈簧一般由制動氣室、橡膠彈性隔膜和承重板構成。它是一個具有內部構造的密封容器。使用氣體可以改變抗震目的。被動式空氣彈簧的共振頻率相對較低(2).6~5.3Hz)，阻尼系數(0)相對較高.06~0.08)可以獲得較高的抗震效率。投射光刻機被動式空氣彈簧具有剛度變動的特點，因此在地震設備設計中不需要考慮機械設備的重點。承載力大，自身總重較輕。與其它減振器對比，投射光刻機被動式空氣彈簧具有品質小、舒適感好、耐疲倦、經久耐用等特點，它并具有減震和消音作用。這使得其可廣泛運用與許多環境里并充分發揮主導作用。